Lam Research Corp 価格

ラムリサーチコーポレーションは、集積回路の製造に使用される半導体加工装置の設計、製造、販売、リファービッシュ、サービスを行っています。同社は、タングステンメタライゼーション用のコンフォーマルフィルム堆積に使用されるALTUSシステム、銅配線の遷移に適した銅ダマスーン製造を可能にする電気化学堆積製品のSABRE、フィルム処理用の紫外線熱処理製品のSOLA、そしてVECTORプラズマ強化CVD ALD製品を提供しています。また、高密度プラズマ化学蒸着製品のSPEEDギャップフィル、絶縁膜ソリューション用の単一ウェーハ原子層堆積製品のStrikerも取り扱っています。さらに、絶縁膜エッチングに適したFlex、導体エッチングに適したKiyo、シリコンビアエッチングに用いるSyndion、金属エッチングプロセス用のVersys金属製品も提供しています。加えて、ダイの歩留まり向上を図るCoronusベベルクリーン製品、さまざまなウェーハ洗浄に対応するDa Vinci、DV-Prime、EOS、SPシリーズ製品、そして半導体ウェーハ製造における高精度のインライン質量測定を可能にするMetryx質量計測システムも販売しています。同社は、米国、中国、ヨーロッパ、日本、韓国、東南アジア、台湾、その他の国々の半導体業界に製品とサービスを提供しています。ラムリサーチコーポレーションは1980年に設立され、本社をカリフォルニア州フリーモントに置いています。